公司產業
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光刻膠國產替代的受益鏈

文|本刊記者 顧天嬌 日期: 2021-05-28 瀏覽次數: 59

2 月 13 日,日本福島東部海域發生 7.3 級地震,受地震影響,信越化學、瑞薩電子等半導體廠商在當地的工廠只能暫停生產。?

信越化學目前占據全球光刻膠市場份額超兩成,如今其生產以及海外供貨受阻,已有下游代理商考慮配合運輸與相關成本提高,調漲新合約報價。因此,預計本次停產事件除了將加劇全球汽車芯片產能的緊張程度,還將對光刻膠供應造成負面影響。?

事實上,多次日本大地震都曾引發市場對于半導體產能不確定性的擔憂,由此導致國內相關半導體上市公司受到資金追捧。本次也不例外,消息傳出后,上海新陽(300236.SZ)、南大光電(300346.SZ)、?

晶瑞股份(300655.SZ)、彤程新材(603650.SH)等光刻膠相關上市公司的股價應聲上漲。?

但地震影響只是暫時的,投資者需要辨別的是,哪些公司才是真正值得關注的龍頭?誰更有實力率先實現國產替代??


光刻膠自給率嚴重不足?

2019 年 7 月,在日韓貿易爭端的背景下,日本開始限制向韓國出口電視、智能手機中 OLED 顯示器部件使用的“氟聚酰亞胺”、半導體制造過程中必須使用的“光刻膠”和“高純度氟化氫”3 種材料。?

一時間,三星半導體、海力士等全球存儲器龍頭面臨停產危機。?

韓國政府隨即提出了“半導體材料國產化”政策,并對材料、零部件、設備行業進行了扶持。時至今日,韓國已經實現了半導體材料氟化氫的量產,正在向更高純度突破,但是光刻膠仍受限于日本。?

那么光刻膠到底是什么?行業競爭格局如何??

光刻膠又稱光致抗蝕劑,是一種對光敏感的混合液體。其組成部分包括 :光引發劑、光刻膠樹脂、單體、溶劑和其他助劑。光刻膠可以通過光化學反應,經曝光、顯影等光刻工序將所需要的微細圖形從光?

罩(掩模版)轉移到待加工基片上,形成與掩膜版完全對應的幾何圖形。?

上述的待加工基片可以是集成電路材料,顯示面板材料或者印刷電路板等,因此按照應用領域的不同,光膠刻可以分為 PCB 用、LCD 用、半導體用和其他用途光刻膠。?

按照所適配的刻蝕用光的波長不同,光刻膠分為普通寬譜光刻膠、g 線(436nm)、i 線(365nm)、 KrF(248nm)、ArF(193nm)、F2(157nm), 以及最先進的 EUV(<13.5nm) 線水平,其相關技術壁壘隨刻蝕用紫外光波長縮短而相應提高。?

半導體行業主要使用光刻膠包括 g 線、i 線、KrF、ArF 和 EUV 線。在越高端的市場里,日本廠商的壟斷地位越明顯,根據 SEMI 數據,日本廠商在 g 線 /i 線、KrF、ArF 膠市場中市占率分別為 61%、80%、93%。?

而我國目前 g 線 /i 線自給率約為20%,KrF 光刻膠的自給率不足 5%,12寸硅片的 ArF 光刻膠目前尚無國內企業可以大規模生產。

高端光刻膠長期為國外企業壟斷的現狀,同樣使得我國芯片制造存在“卡脖子”風險,所以光刻膠的國產替代是必然趨勢。?

也正因為如此,不少在光刻膠領域有所突破的公司備受關注。來看一下光刻膠相關上市公司近 20天內的股價表現:上海新陽漲幅高達 76%,南大光電、晶瑞股份漲幅超過 50%,彤程新材漲幅約為 16%。?

不過拉長時間線來看,漲幅較高的上海新陽、南大光電和晶瑞股份目前股價相比 2020 年中股價頂點均已近乎腰斬。?

這些公司中,誰在光刻膠研發和量產上更據優勢、能夠引領國產替代呢??


光刻膠概念股 誰是未來龍頭?

晶瑞股份是國內入局光刻膠較早的企業之一,其子公司蘇州瑞紅已生產光刻膠近 30 年,擁有達到國際先進水平的光刻膠生產線。目前蘇州瑞紅 i 線光刻膠已向國內頭部的知名大尺寸半導體廠商供貨,KrF 光刻膠完成中試并進入客戶測試階段,正在積極研發 ArF 光刻膠。?

隨著今年1月公司采購的光刻機設備ASMLXT1900Gi 型 ArF 浸入式光刻機到貨,ArF 光刻膠的研發進程將進一步加快。?

根據晶瑞股份 2020 半年報,其光刻膠業務實現營收 4307 萬元,占總營收的 10%,毛利率為 44.23%。?

上海新陽涉足光刻膠領域時間并不長,主要產品是晶圓制造和先進封裝用電鍍液及清洗液以及半導體封裝用電子化學材料,目前,其高端光刻膠產品正在開發中,包括邏輯和模擬芯片制造用的 ArF干法光刻膠、KrF 光刻膠、i 線光刻膠等。?

自 2016 年底公司立項開發集成電路制造用高端光刻膠以來,中試產品已通過客戶基礎工藝考核。公司規劃新增產能“高分辨率光刻膠系列 500 噸/年”,預計該項目將于 2022 年開始逐漸通過客戶驗?

證,取得訂單,實現小批量的生產和銷售。?

南大光電與上海新陽一樣,進入時間較晚,但卻算得上是光刻膠領域的后起之秀。?

2017 年,南大光電開始承擔 193nm光刻膠材料的研發與產業化項目。2020年 12 月 17 日,公司發布公告稱,控股子公司寧波南大光電自主研發的 ArF 光刻膠產品成功通過了客戶 50nm 閃存技術平臺驗證。該產品成為國內通過產品驗證的第一只國產 ArF 光刻膠。?

公司于2019年底在寧波建成光刻膠生產線,并計劃于2021年底實現年產25噸(干式5 /浸沒式20噸)產能規模,性能滿足90nm-14nm 工藝制程要求。?

與上面三家企業走內生道路不同,彤程新材借助外延并購切入了光刻膠領域。?

彤程新材于 2020 年 6 月成立全資子公司上海彤程電子,以此為主體收購北京科華 33.7% 的股權,12 月收購北旭電子 45% 股權,成為兩家公司的第一大股東。?

北京科華和北旭電子是國內為數不多實現中高端光刻膠國產化的廠商。其中北京科華有 g 線 /i 線正膠生產線(500 噸 / 年)和正膠配套試劑生產線(1000 噸 / 年)、百噸級 248nm 光刻膠生產線。北旭電子的正型光刻膠應用于 IC、各類尺寸 TFT-LCD 及AMOLED 領域,主要客戶為京東方,2020 年前三季度實現營收和凈利潤分別為 1.55 億元和 2540 萬元。?

2020 年 12 月 1 日,彤程新材公告擬通過彤程電子投資 5.7 億元建 設年產 1.1 萬噸半導體、平板顯示用光刻膠及 2 萬噸相關配套試劑項目,預計于 2021 年末建成投產,2022 年具備一定生產能力,2025 年達產。?

目前四家公司中,光刻膠業務真正能夠帶來收入的只有晶瑞股份,但主要來自低端光刻膠,在高端光刻膠研發上其進度慢于南大光電和上海新陽。彤程新材尚未將北京科華和北旭電子納入合并報表,未來如果完成并表,預計將增厚公司利潤。?

根據各家 2020 半年報,上海新陽研發費用占比最高,達到 9.5%,其次是南大光電 7.4%、彤程新材 3.5%、晶瑞股份 3.3%。?

預計南大光電率先實現高端光刻膠 ArF 的量產,下游廠商對光刻膠質量要求高、產品認證時間長,一般下游廠商不會輕易更換供應商。先人一步獲得下游客戶認可的光刻膠企業將獲得先發優勢。?

但長期看南大光電產能僅 25 噸 / 年,遠不及上海新陽500 噸 / 年的產能,未來如果不增加產能,可能在光刻膠業務的收入規模上會遜于上海新陽。?

總的來看南大光電、上海新陽都具備不錯的研發能力,同時也在積極投建產線,頗具龍頭之姿。

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